特長 ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。 複數のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。 用途 広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。 ロードロック室排気。 吸著搬送、ハンドリング。 レーザーガス循環?排気用。 真空乾燥裝置、連結真空乾燥裝置 商品スペック 仕様?規格 3段排気方式 一臺から異電圧に別作対応 接ガス部耐食性 到達圧力(KPa)：0.2 吸排気管徑(mm)：O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8) 最大寸法(mm)：161(W)×327(L)×218(H) 排気速度(L/min)50/60Hz：20/23 到達圧力(Pa)：200 吸気口徑(mm)：10 電源(V)：単相100 騒音値(dB)：- 全幅×全長×全高(mm)：161×327×217 寸法(mm)：161×327×217
材質 - 質量?質量単位 7.5ｋｇ
使用條件 使用雰囲気溫度範囲：5℃～40℃
注意事項 吸入気體に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
セット內容?付屬品 - 製造國 日本
小箱入數 小箱入數とは、発注単位の商品を小箱に収納した狀態の數量です。 1臺 大箱入數 大箱入數とは、小箱に収納した狀態で、大箱に箱詰めしている數量です。 - エコマーク商品認証番號 - コード39 - コード128 - ITF - 関連品情報 -